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J-GLOBAL ID：201502288203519020   整理番号：15A0756472

生化学センシング応用のための三角プラットフォーム圧電抵抗親和性マイクロカンチレバー センサ

Design of a triangular platform piezoresistive affinity microcantilever sensor for biochemical sensing applications

著者 (2件)： MATHEW Ribu (VIT Chennai, Chennai, IND) ,  SANKAR A Ravi (VIT Chennai, Chennai, IND)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 48  号： 20  ページ： 205402,1-14  発行年： 2015年05月29日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では,筆者らは生化学センシング応用のための集積圧電抵抗器での三角形状マイクロカンチレバ プラットフォームを紹介する。高ドーピング濃度を有する単結晶シリコンSCS)がポリシリコンと比べてそのより高い圧電抵抗係数,感度のより低い温度係数,そして減少したノイズ効果による圧電抵抗素子として考察される。ここでは,生化学センシング応用で使用される従来の矩形の機械的プラットフォームと比較して測定のより高いバンド幅で外部ノイズに対して高い安定性をもつ機械的プラットフォームを設計することに焦点を当てる。設計は(ΔR/R)f₀²の値を最大化することによって最適化される。ここで,Rは公称抵抗,ΔRは抵抗の変化であり,f₀は共鳴周波数である。シミュレーションが実行され,その結果から,三角形カンチレバーは集積圧電抵抗器を有する生化学センシング応用に対する機械的プラットフォームとして考えられることが実証された。

シソーラス用語： *圧電素子 ,  電気抵抗 ,  *片持梁 ,  生化学 ,  *圧電センサ ,  化学センサ ,  ケイ素
準シソーラス用語： 圧電抵抗素子 ,  圧電抵抗 ,  マイクロカンチレバー ,  単結晶シリコン

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (8件)： 生化学 ,  センシング ,  応用 ,  三角 ,  プラットフォーム ,  圧電抵抗 ,  親和性 ,  マイクロカンチレバー