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J-GLOBAL ID：201502288714220511   整理番号：14A0945842

高品質因子マイクロマシンジャイロスコープのための自己温度補償【Powered by NICT】

Self-temperature compensation for high quality factor micro-machined gyroscope

著者 (4件)： Yang Liang (School of Mechanical Engineering,Nanjing Univ. of Sci. and Technol., Nanjing) ,  Su Yan (School of Mechanical Engineering,Nanjing Univ. of Sci. and Technol., Nanjing) ,  Qiu Anping (School of Mechanical Engineering,Nanjing Univ. of Sci. and Technol., Nanjing) ,  Xia Guoming (School of Mechanical Engineering,Nanjing Univ. of Sci. and Technol., Nanjing)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 21  号： 11  ページ： 2870-2876  発行年： 2013年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 温度補償システムは,マイクロマシーンによるジャイロスコープのスケール因子と0バイアスに対する高精度温度補償を実現するために,仮想温度センサとして駆動モード固有振動数を用いて構築した。駆動モード固有振動数の温度特性を調査し,その係数(-26.9±2.03)×10~(-6)°Cが得られた。周波数安定性は20秒平均で1秒平均および0.004°Cで0.075°Cの温度精度に翻訳した。スケール因子と0バイアスの温度特性の解析に基づいて,2次温度補償方式を提案し,補償アルゴリズムの原理とブロック線図を示した。最後に,スケール因子と0バイアスは駆動モード固有振動数を用いて補償した。実験結果はスケール因子の最大相対変化は2.1%から0.05%に減少し,0バイアスのそれは-40°Cで60°Cに8.9%から0.1%に低下することを示した。室温2時間で0バイアス実験はバイアスnonstabilityは補償後から4.1(°)/時間~0.42(°)/時間減少であることを示した。これらの結果は,高精度温度補償用のマイクロ加工ジャイロスコープの要求を満足した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *温度補償 ,  *ジャイロスコープ ,  スケール因子 ,  固有振動数 ,  周波数安定度 ,  *補償 ,  ブロック線図 ,  マイクロマシニング
準シソーラス用語： *品質因子 ,  高精度 ,  温度特性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  力学  (BA04000D) ,  光学情報処理  (BD03060T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 品質因子 ,  マイクロマシン ,  ジャイロスコープ ,  自己 ,  温度補償