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J-GLOBAL ID：201502289880246711   整理番号：15A0501948

太陽電池用途のための新規フッ素化されたn-nc-SiO:H材の開発

Development of a novel fluorinated n-nc-SiO:H material for solar cell application

著者 (7件)： MANDAL Sourav (Centre of Excellence for Green Energy and Sensor Systems, Indian Inst. of Engineering Sci. & Technol., Shibpur ...) ,  DAS Gourab (Centre of Excellence for Green Energy and Sensor Systems, Indian Inst. of Engineering Sci. & Technol., Shibpur ...) ,  DHAR Sukanta (Centre of Excellence for Green Energy and Sensor Systems, Indian Inst. of Engineering Sci. & Technol., Shibpur ...) ,  TOMY Rajive M. (Hind High Vacuum Co. Pvt. Ltd, Phase I, PIA, Bangalore 560058, IND) ,  MUKHOPADHYAY Sumita (Centre of Excellence for Green Energy and Sensor Systems, Indian Inst. of Engineering Sci. & Technol., Shibpur ...) ,  BANERJEE Chandan (Centre of Excellence for Green Energy and Sensor Systems, Indian Inst. of Engineering Sci. & Technol., Shibpur ...) ,  BARUA A.K. (Centre of Excellence for Green Energy and Sensor Systems, Indian Inst. of Engineering Sci. & Technol., Shibpur ...)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 157  ページ： 130-137  発行年： 2015年05月01日 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,プラズマ増強化学蒸着(PECVD)法によって調製されたフッ素化ナノ結晶SiO:F:H材料の開発,及びZnOのような以前に開発された材料よりも優れている特性,及びa-Si(単一及び多接合型)太陽電池の背面反射体としての用途のためのn-μc-SiO_x:Hについて報告した。良い背面反射体の材料は,層の反射率を増加させ,低屈折率を有するべきである。以前著者らは,2.1の屈折率を有するシラン(SiH₄),二酸化炭素(CO₂),及び水素(H₂)の原料ガス混合物のRF-PECVD法(13.56MHz)によって,n型微結晶水素化シリコン酸化物(μc-SiO:H)材料を開発した。ガス混合物にフッ素を添加することにより,材料をa-Si太陽電池のためのより良い反射に調製し,屈折率は1.70に低減した。本材料は,以下の研究により詳細にキャリクタリゼーションされている,すなわち(1)HRTEM,AFM,ラマン及びFTIR分光法による構造的研究,(2)温度依存導電率測定を使用した光電子特性,及び(3)エリプソメトリー及び紫外可視スペクトル分析など。最適化された材料は,μc-SiO:H薄膜よりも優れた特性を示した。屈折率が1.85であり,E₀₄=2.61eVで,横方向の電気伝導度が10^-8Scm^-1であり,ラマン結晶性がX_c=48.0%であった。これらの合わせた特性は,また,a-Si太陽電池における裏面反射層(BRL)として,及び微細太陽電池の内部反射層(IRL)として使用するため,この材料は最も適している。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *フッ素化 ,  *酸化ケイ素 ,  プラズマCVD ,  ナノ結晶 ,  酸化亜鉛 ,  反射率 ,  屈折率 ,  混合気体 ,  二酸化炭素 ,  水素 ,  高分解能電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  Raman分光法 ,  FTIR分光法 ,  温度依存性 ,  電気伝導率 ,  光電子 ,  偏光解析法 ,  可視スペクトル ,  紫外スペクトル ,  紫外可視吸収スペクトル ,  薄膜 ,  反射防止膜 ,  内部反射
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  HRTEM ,  エリプソメトリー ,  ガス混合物 ,  シリコン酸化物 ,  プラズマ増強化学蒸着 ,  *酸化シリコン ,  紫外可視スペクトル ,  多接合太陽電池 ,  電気伝導度 ,  導電率 ,  裏面反射防止膜

分類 (3件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  有機けい素化合物  (CF08030C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 太陽電池 ,  用途 ,  フッ素 ,  NC ,  SiO ,  開発