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J-GLOBAL ID：201502289934576062   整理番号：15A0534958

直下入射方式の光てこ変位検出によるツインプローブ原子間力顕微鏡

Twin-probe Atomic Force Microscopy with Optical Beam Deflection using Vertically Incident Lasers by Two Beam Splitter

著者 (9件)： 佐藤宣夫 (京都大学大学院 工学研究科) ,  佐藤宣夫 (千葉工業大学) ,  常見英加 (京都大学大学院 工学研究科) ,  小林圭 (京都大学大学院 工学研究科) ,  小林圭 (京都大学白眉センター) ,  小松原隆司 (堀場製作所) ,  樋口誠司 (堀場製作所) ,  松重和美 (京都大学大学院 工学研究科) ,  山田啓文 (京都大学大学院 工学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 135  号： 4  ページ： 135-141 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,開発したツインプローブ原子間力顕微鏡を取りあげ,その基本的な構成や主な機能・特徴について説明した。具体的には,本顕微鏡では,完全独立駆動が可能な2つのカンチレバー・プローブを備え,光てこ変位検出系としてレーザ光の直下入射を実現し,光軸の再調整を全く必要としないこと,また,カンチレバー・プローブの微動機構には,筒型圧電体をアクチュエータとして採用するとともに,粗動機構には市販の安価な光学部品を取り入れていること,さらに,除振性能の優れた過電流ダンパー機能を有するバネ吊り除振機構もあわせて導入していること-等を明らかにした。このほか,本顕微鏡を用いて実際に観察を行ったので,その結果についても報告した。

シソーラス用語： *梃子 ,  *変位測定 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *走査型プローブ顕微鏡 ,  *ケイ素 ,  *片持梁 ,  周波数変調 ,  *ナノテクノロジー ,  入射 ,  レーザビーム ,  *表面性状 ,  フィードバック制御 ,  高分解能
準シソーラス用語： 光梃子 ,  変位検出 ,  ツインプローブ原子間力顕微鏡 ,  斜め入射 ,  直下入射

分類 (3件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (20件)：

• (1) G. Binning, C. F. Quate, and Ch. Gerber: “Atomic Force Microscope”, Phys. Rev. Lett., Vol. 56, p. 930 (1986)
• (2) T. Kanagawa, R. Hobara, I. Matsuda, T. Tanikawa, A. Natori, and S. Hasegawa: “Anisotropy in Conductance of a Quasi-One-Dimensional Metallic Surface State Measured by a Square Micro-Four-Point Probe Method”, Phys. Rev. Lett., Vol. 91, p. 036805 (2003)
• (3) S. Higuchi, H. Kuramochi, O. Kubo, S. Masuda, Y. Shingaya, M. Aono, and T. Nakayama: “Angled long tip to tuning fork probes for atomic force microscopy in various environments”, Rev. Sci. Instrum., Vol. 82, p. 043701 (2011)
• (4) T. Nakayama, O. Kubo, Y. Shingaya, S. Higuchi, T. Hasegawa, C. Jiang, T. Okuda, Y. Kuwahara, K. Takami, and M. Aono: “Development and Application of Multiple-Probe Scanning Probe Microscopes”, Adv. Mater., Vol. 24, p. 1675 (2012)
• (5) T. Fujii and S. Watanabe: “Feedback positioning cantilever using lead zirconate titanate thin film for force microscopy observation of micropattern”, Appl. Phys. Lett., Vol. 68, p. 467 (1996)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光てこ ,  変位 ,  プローブ ,  原子間力顕微鏡