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J-GLOBAL ID：201502290499422838   整理番号：15A0620873

p⁺-Si上の多孔質Si系Alショットキー構造: ナノショットキー調製のための可能な方法

Porous Si Based Al Schottky Structures on p⁺-Si: A Possible Way for Nano Schottky Fabrication

著者 (3件)： GUELNAHAR Murat (Atatuerk Univ., Fac. of Engineering, Dep. of Electrical and Electronics Engineering, 25240 Erzurum, TUR) ,  KARACALI Tevhit (Atatuerk Univ., Fac. of Engineering, Dep. of Electrical and Electronics Engineering, 25240 Erzurum, TUR) ,  EFEOGLU Hasan (Atatuerk Univ., Fac. of Engineering, Dep. of Electrical and Electronics Engineering, 25240 Erzurum, TUR)
資料名： Electrochimica Acta  (Electrochimica Acta)
巻： 168  ページ： 41-49  発行年： 2015年06月20日 
JST資料番号： B0535B  ISSN： 0013-4686  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,Al/p-Si/Al,Al/p⁺-Si/Al及びAl/PS/p⁺-Si/Alデバイス間の比較研究の結果を示した。電気化学的アノード酸化法により調製した多孔質シリコン層のAl/por-Si/p⁺-Si/Alヘテロ接合デバイスの電流輸送機構を,10~300Kの温度範囲内で温度依存の電流-電圧測定を用いて研究し,これらの測定値をAl/p-Si/Alダイオードのためにも実現した。多孔質Si層の多孔度特性を,断面SEM画像及びPL測定によって調べた。p⁺-Si基板上への多孔質シリコン(PS)のAl配線で形成したダイオードのようなSchottkyのために良い整流を観察し,20KでAl/p-Si/Alダイオードで凍結実施にもかかわらず,6K温度でも継続した。さらに,それは,Al/PS/p⁺-Si/Alヘテロ接合デバイスが,単一に非常に近い理想係数,0.63eVである高い障壁高さ,及び300Kで,30Ωである直列抵抗の小さい値である優れた接合パラメータを示すことを報告した。しかし,Al/p-Si/Alダイオードに基づく結晶シリコンと比較して,このヘテロ接合デバイスの高い直列抵抗値は,PSに関連した。高温では,電流輸送機構が,熱イオン電界放出機構によるものであることに留意されたい。しかし,低温で,Richardsonプロットの信頼性の低い変動が見られ,かつ明確なガウス分布は,Φ_b vs. q/2kTの関係に見られない。この挙動は,高濃度ドープシリコンに起因した。さらに,この研究では,電流輸送機構は,PSにFowler Nordheimトンネリングの理論を用いて議論され,移行/拡散によるトンネリングはPSにおける電荷輸送の主な機構であることを提案した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *半導体金属接合 ,  *Schottky障壁 ,  *多孔質シリコン ,  *アルミニウム ,  アノード酸化 ,  電気化学的挙動 ,  ヘテロ接合 ,  輸送現象 ,  電気伝導 ,  温度依存性 ,  ダイオード ,  空隙率 ,  走査電子顕微鏡 ,  電気抵抗 ,  ケイ素 ,  障壁 ,  電界放出 ,  イオン ,  Richardson数 ,  正規分布 ,  ドーピング ,  Fowler-Nordheimトンネリング
準シソーラス用語： *Schottky接合 ,  *多孔質Si ,  電流輸送 ,  多孔度 ,  SEM【顕微鏡】 ,  直列抵抗 ,  障壁高さ ,  結晶シリコン ,  熱イオン ,  Gauss分布 ,  ドープ ,  電荷輸送

分類 (2件)： 電気化学反応  (CB07050F) ,  ダイオード  (NC03050R)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  多孔質Si ,  Al ,  ショット ,  キー ,  調製