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J-GLOBAL ID：201502292301045492   整理番号：15A0618629

放射線検出用のSOIモノリシックアクティブピクセルセンサ:レビュー

SoI Monolithic Active Pixel Sensors for Radiation Detection Applications: A Review

著者 (5件)： LAN Hao (Harbin Engineering Univ., Harbin, CHN) ,  WANG Ying (Harbin Engineering Univ., Harbin, CHN) ,  CHEN Jie (Inst. Microelectronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  CAO Fei (Harbin Engineering Univ., Harbin, CHN) ,  HU Hai-Fan (Harbin Engineering Univ., Harbin, CHN)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 5  ページ： 2732-2746  発行年： 2015年05月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： モノリシック放射線検出器のSOIピクセルプロセスは,主にLapis Semiconductor社の0.2μm SOI FD-CMOS技術に基づいている。本レビューでは,埋込みp型井戸(BPW),ダブルSOI,および3D集積などの古典的研究を含むSOIセンサとSOIピクセルプロセスのいくつかの重大な問題,特徴,および典型的なセンサ構造などについて述べた。また,多様な研究者や応用のいくつかの典型的なプロジェクトを紹介した。将来のSOIピクセルセンサの研究では,主要な問題が,製作のレベルに関連し,新材料,新構造,および新技術などの技術のブレークスルーを必要としている。

シソーラス用語： レビュー ,  ピクセル検出器 ,  *X線検出器 ,  センサ ,  *放射線検出 ,  SOI構造 ,  一体構造 ,  *イメージセンサ
準シソーラス用語： アクティブピクセルセンサ ,  モノリシック構造

分類 (2件)： 放射線検出・検出器  (AD08020J) ,  撮像・録画装置  (ND12032E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 放射線検出 ,  SOI ,  アクティブピクセルセンサ ,  レビュー