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J-GLOBAL ID：201502292806667978   整理番号：15A0226965

二軸ステージの直線度の評価

Evaluation of Straightness of Two-Axes Stage

著者 (3件)： IORI Keisuke (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  OZAKI Miyu (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  FURUTANI Ryoshu (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 625  ページ： 47-52  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二軸ステージ(XYステージ)は精密機械加工と精密な位置決めに使用され,ナノ技術ではその分解能はナノメータが必要である。本稿では,ステージの挙動を測定するため,ステージの直線度を評価する方法について述べた。ステージの動きはレーザ干渉計で変位を計測した。反射ミラーは,レーザを反射し,ステージ上に設定される。レーザ干渉計による測定結果は,反射鏡の形状および軸の形状の両方を含む。理論と実験の変位を分離することができるかどうかを検査する。このシミュレーションでは,軸の形状と反射鏡の形状はランダムに生成される。軸の形状と反射鏡の形状は,非線形最小二乗法により推定できる。

シソーラス用語： *真直度 ,  *位置決め装置 ,  *レーザ干渉計 ,  単位 ,  軸 ,  誤差 ,  最小二乗法 ,  二軸 ,  反射鏡
準シソーラス用語： ナノメータ ,  形状誤差 ,  直線度

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 二軸 ,  ステージ ,  直線度 ,  評価