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J-GLOBAL ID：201502294340166917   整理番号：15A0387927

ボールSAWセンサを用いたガス中微量水分計測

Ball SAW sensor and trace moisture measurement.

著者 (1件)： 山中一司 (東北大)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 84  号： 3  ページ： 218-223  発行年： 2015年03月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らは,球面上を伝搬する表面波は自然に細い平行ビームを形成して多重周回する場合があることを見いだし,これを利用した高感度なセンサを考案した。このセンサは平面基板上の表面波センサより感度が高く,その結果,感応膜を薄くでき,応答速度も向上した。水素ガスに対しては,あらゆる種類のセンサ中,最も広い検出濃度範囲をもつ。半導体製造などで必要な微量水分計としても,初めての小型・高速・高感度センサとして実用化が期待され,多種類のガスに対応する携帯型ガスクロマトグラフへの応用技術開発も進んでいる。(著者抄録)

シソーラス用語： *センサ ,  *ガス分析 ,  *含水量 ,  ガスクロマトグラフ ,  *弾性表面波センサ
準シソーラス用語： *SAWセンサ ,  *水分含有量

分類 (2件)： 音波物性一般  (BL02010H) ,  ガスクロマトグラフィー  (CC04013U)

引用文献 (26件)：

• J.W.S. Rayleigh: Proc. Lond. Math. Soc. 17, 4 (1885).
• F.A. Dahlen and J. Tromp:Theoretical Global Seismology, p. 431 (Princeton University Press, New Jersey, 1998).
• M. Born and E. Wolf: Principles of Optics 7th Ed. p. 412 (Cambridge University Press, 1999).
• K. Yamanaka, H. Cho, and Y. Tsukahara: Appl. Phys. Lett. 76, 2797 (2000).
• 山中一司,長秀雄,塚原祐輔:電子情報通信学会技術研究報告100, US2000-14, pp.49-56(2000).

タイトルに関連する用語 (3件)： ボール ,  SAWセンサ ,  水分計測