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J-GLOBAL ID：201502294909755517   整理番号：15A0507487

化学気相蒸着法による六角形NbS₂フレークの合成

著者 (5件)： 柳瀬隆 (北大 工) ,  渡邉翔 (北大 工) ,  WENG Mengting (北大 工) ,  長浜太郎 (北大 工) ,  島田敏宏 (北大 工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd  ページ： ROMBUNNO.12P-D8-14  発行年： 2015年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： フレーク ,  *化学蒸着 ,  ニオブ化合物 ,  硫化物 ,  基板温度 ,  六角形 ,  薄膜 ,  *硫化ニオブ
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 化学 ,  気相蒸着 ,  六角形 ,  フレーク