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J-GLOBAL ID：201502296935099361   整理番号：15A0456021

カーボンナノウォールの酸素原子損失係数

Oxygen atom loss coefficient of carbon nanowalls

著者 (6件)： MOZETIC Miran (Jozef Stefan Inst., Jamova cesta 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  VESEL Alenka (Jozef Stefan Inst., Jamova cesta 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  STOICA Silviu Daniel (National Inst. for Laser, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilo Street, PO Box MG-36, Magurele, Bucharest ...) ,  VIZIREANU Sorin (National Inst. for Laser, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilo Street, PO Box MG-36, Magurele, Bucharest ...) ,  DINESCU Gheorghe (National Inst. for Laser, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilo Street, PO Box MG-36, Magurele, Bucharest ...) ,  ZAPLOTNIK Rok (Jozef Stefan Inst., Jamova cesta 39, 1000 Ljubljana, SVN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 333  ページ： 207-213  発行年： 2015年04月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： カーボンナノウォール(CNW)表面上の原子状酸素の損失係数の極めて高い値を報告した。平均長1.1μm,平均厚さ66nm及び表面密度3CNW/μm²の,相互接続した個々のナノ構造から成るCNW層を,C₂H₂/H₂/Arガス混合物を用いたプラズマジェット支援化学蒸着により作製した。試料は,走査電子顕微鏡(SEM),原子間力顕微鏡(AFM),透過型電子顕微鏡,Raman分光(RS)並びにX線光電子分光(XPS)により特性評価した。表面損失係数は,誘導結合高周波O₂プラズマから供給される酸素原子の濃度を変えた流れのアフターグローの中で室温測定した。900Wまでのいろいろな公称パワーの13.56MHzのRF発電機が,1.3×10²¹m^-3に至るアフターグロー中のいろいろなO原子密度に対応した。既知係数の中性酸素原子の異質表面再結合を持つCNW及び幾つかの異なった試料を別々にアフターグローチェンバー中に並べて置き,較正した触媒プローブで周辺のO原子密度を測定した。測定結果の比較によりCNWの損失係数決定が可能で,得られた値の0.59±0.03は,この材料をO原子のシンクとして極めて有効なものとした。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  炭素 ,  *プラズマジェット ,  *プラズマCVD ,  水素 ,  アルゴン ,  RF放電 ,  誘導結合プラズマ ,  *酸素 ,  *アフターグロー ,  表面 ,  再結合 ,  *プラズマ損失 ,  プラズマ探針 ,  X線光電子スペクトル ,  Ramanスペクトル ,  顕微鏡観察 ,  アルキン
準シソーラス用語： *カーボンナノウォール

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  プラズマ流,プラズマの電磁流体力学  (BJ02040I) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (3件)： カーボンナノウォール ,  酸素原子 ,  損失係数