特許

J-GLOBAL ID：201503000012643589

共焦点顕微鏡

発明者： 江口 輝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也 ,  平山 倫也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-197784
公開番号（公開出願番号）：特開2015-064462
出願日： 2013年09月25日
公開日（公表日）： 2015年04月09日
要約：

【課題】被検物の深さ方向の分解能を向上させた共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】共焦点顕微鏡150は、光源からの光束を用いて第1の共焦点絞りの少なくとも一部を均一に照明する照明光学系と、第1の共焦点絞りを通過した光束を被検物へ集光する第1の集光光学系と、被検物からの光束を第2の共焦点絞りへ集光する第2の集光光学系と、第2の共焦点絞りを通過する光束を検出する検出手段と、第1の集光光学系または第2の集光光学系の少なくとも一方に設けられ、第1の集光光学系または第2の集光光学系の少なくとも一方に設けられ、光軸を含む第1の領域の透過率が第1の領域の周囲の第2の領域の透過率よりも低い光量調整手段とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光束を用いて第1の共焦点絞りの少なくとも一部を均一に照明する照明光学系と、 前記第1の共焦点絞りを通過した光束を被検物へ集光する第1の集光光学系と、 前記被検物からの光束を第2の共焦点絞りへ集光する第2の集光光学系と、 前記第2の共焦点絞りを通過する光束を検出する検出手段と、 前記第1の集光光学系または前記第2の集光光学系の少なくとも一方に設けられ、光軸を含む第1の領域の透過率が第1の領域の周囲の第2の領域の透過率よりも低い光量調整手段と、を有することを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/06 ,  G01N 21/64

FI (3件)：

G02B21/06 ,  G01N21/64 E ,  G01N21/64 F

Fターム (16件)：

2G043AA03 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA02 ,  2G043GA04 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA09 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AC02 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC18 ,  2H052AC28