特許
J-GLOBAL ID：201503000040331720
吸着層付き基板の梱包方法及び梱包体並びに吸着層付き基板の梱包装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-266491
公開番号（公開出願番号）：特開2015-120543
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：
【課題】表面に吸着層が備えられた複数の基板を、シートを介在させることなく梱包容器に収納した場合であっても、梱包容器から基板を1枚ずつ容易に取り出すことが可能な吸着層付き基板の梱包方法及び梱包体並びに吸着層付き基板の梱包装置を提供する。【解決手段】梱包装置は、疵付け装置10とロボット28とから構成される。疵付け装置10によって補強板3は、補強板3の裏面3bがローラ20に載置され、ローラ20の回転によって、ロールブラシ12の下方を移動する。この際に補強板3の樹脂層4は、ロールブラシ12のブラシ18に押し付けられ、かつ回転するロールブラシ12によって、樹脂層4の表面にブラシ18による引っ掻き疵が付けられる。この後、補強板3は、ロボット28によってパレット36に収納される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
表面に吸着層が形成された複数の基板を用意し、
前記複数の基板のそれぞれの吸着層の表面に引っ掻き疵を付けた後、前記複数の基板を梱包容器に積層して収納することを特徴とする吸着層付き基板の梱包方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
3E096AA04
, 3E096AA05
, 3E096AA15
, 3E096BA15
, 3E096BA20
, 3E096BB03
, 3E096CA09
, 3E096CA21
, 3E096CB02
, 3E096DA23
, 3E096EA07Y
, 3E096FA26
, 3E096FA27
, 3E096FA29
, 3E096FA30
, 3E096GA01
