特許

J-GLOBAL ID：201503000322267324

周波数調整装置

発明者： 齋場 孝司 ,  難波 輝晃 ,  宮野 博行
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-266607
公開番号（公開出願番号）：特開2015-122692
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：

【課題】安定した駆動を行うことのできる周波数調整装置を提供すること。【解決手段】周波数調整装置100は、X軸方向に往復移動可能なシャッター部51と、X軸方向と交わる回転軸を有し、シャッター部51を付勢する偏心カム56と、偏心カム56を回転軸まわりに回転させることでシャッター部51をX軸方向に移動させるソレノイドアクチュエーター57と、を有するシャッター装置1を有している。このようなシャッター装置1は、シャッター部51を移動させることで、質量調整源による振動素子の質量調整を許容する開状態と、質量調整源による振動素子の質量調整を阻止する閉状態と、を切り替える。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

振動素子を載置する載置部と、 前記振動素子の質量を調整する質量調整源と、 シャッター装置と、 を有し、 前記シャッター装置は、第1軸方向に往復移動可能であって、前記載置部に載置されている前記振動素子と前記質量調整源との間に設けられているシャッター部と、 前記第1軸方向と交わる回転軸を有し、前記シャッター部を付勢するカムと、 前記カムを前記回転軸まわりに回転させることで前記シャッター部を前記第1軸方向に移動させる駆動手段と、 を備え、 前記シャッター部を移動させることで、前記質量調整源による振動素子の質量調整を許容する開状態と、前記質量調整源による振動素子の質量調整を阻止する閉状態と、を切り替えることを特徴とする周波数調整装置。

IPC (2件)：

H03H 3/04 ,  H01L 21/302

FI (2件)：

H03H3/04 A ,  H01L21/302 201B

Fターム (6件)：

5F004AA09 ,  5F004BA11 ,  5F004EA32 ,  5F004EA39 ,  5F004EB08 ,  5J108KK07