特許

J-GLOBAL ID：201503000633746013

試料ホルダ、観察システム、および画像生成方法

発明者： 庄子 美南 ,  大嶋 卓 ,  大南 祐介 ,  森下 英郎 ,  原田 邦男
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-029106
公開番号（公開出願番号）：特開2015-153710
出願日： 2014年02月19日
公開日（公表日）： 2015年08月24日
要約：

【課題】透過荷電粒子による像観察を簡便に行う。【解決手段】荷電粒子線が照射される試料が直接または所定の部材を介して配置された発光素子に,試料の内部を透過または散乱した荷電粒子が入射して放出される光を,光伝達手段を用いて効果的に捕集し検出することで,試料の透過荷電粒子像を生成する。【選択図】図14(a)

請求項（抜粋）：

設置される試料の内部を透過又は散乱した荷電粒子により発光する発光部材が載置される試料載置部と、 前記発光部材の前記試料が載置される面と非平行な面から出射される光を検出器の方向へ伝達する光伝達経路を構成する光伝達部材と、を有することを特徴とする試料ホルダ。

IPC (2件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/20

FI (3件)：

H01J37/244 ,  H01J37/20 C ,  H01J37/20 A

Fターム (12件)：

5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001AA05 ,  5C001BB07 ,  5C001CC03 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NN03 ,  5C033NP02 ,  5C033NP03 ,  5C033NP08