特許
J-GLOBAL ID：201503000788909458

揮発性第二族金属前駆体

発明者：
ジョン アンソニー トーマス ノーマン

ジョン アンソニー トーマス ノーマン について


出願人/特許権者：
エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド

エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  出野 知 ,  関根 宣夫 ,  塩川 和哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-243129
公開番号（公開出願番号）：特開2014-055175
特許番号：特許第5775134号
出願日： 2013年11月25日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 次の式を有する化合物: (R1〜R16がそれぞれ個別に、H、tert-ブチル及びtert-アミルからなる群より選択され;M2及びM3は、Ba、Sr、Mg、Ca、及びRaからなる群からそれぞれ選択され;但し、M2及びM3が、Ba及びSrからなる群からそれぞれ選択される化合物を除く)。
IPC (3件)：
C07F 3/00 ( 200 6.01) ,  C23C 16/40 ( 200 6.01) ,  C07D 207/33 ( 200 6.01)
FI (4件)：
C07F 3/00 CSP F ,  C23C 16/40 ,  C07F 3/00 E ,  C07D 207/33
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-206088   出願人：株式会社ADEKA
  • 有機金属化合物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-197125   出願人：ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
審査官引用 (2件)
  • 薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-206088   出願人：株式会社ADEKA
  • 有機金属化合物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-197125   出願人：ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
引用文献：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM