特許
J-GLOBAL ID:201503001196710204

静電容量型センサ、及び伸縮変形歪み量、伸縮変形歪み分布又は面圧分布の計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 特許業務法人サンクレスト国際特許事務所 ,  川端 和也 ,  塩谷 隆嗣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-194066
公開番号(公開出願番号):特開2015-059845
出願日: 2013年09月19日
公開日(公表日): 2015年03月30日
要約:
【課題】クロストーク静電容量を除去して高精度に静電容量を測定できる静電容量型センサを提供する。【解決手段】本発明は、エラストマー組成物からなる誘電層と、上記誘電層の表面側に積層され、ストライプ状に配設される複数の表側導電部からなる表側電極層と、上記誘電層の裏面側に積層され、平面視で上記複数の表側導電部に略直交するようにストライプ状に配設される複数の裏側導電部からなる裏側電極層と、平面視で上記複数の表側導電部と複数の裏側導電部との各交差領域に形成される検出部の静電容量を測定する測定手段とを備えた静電容量型センサであって、複数の表側導電部及び複数の裏側導電部がカーボンナノチューブを含み、選択された一つの上記表側導電部及び選択された一つの上記裏側導電部を一定の電圧が印加されるように上記測定手段に接続するとともに、残りの表側導電部及び/又は残りの裏側導電部をグランド接続する制御手段を備える。【選択図】図3
請求項(抜粋):
エラストマー組成物からなる誘電層と、 上記誘電層の表面側に積層され、ストライプ状に配設される複数の表側導電部からなる表側電極層と、 上記誘電層の裏面側に積層され、平面視で上記複数の表側導電部に略直交するようにストライプ状に配設される複数の裏側導電部からなる裏側電極層と、 平面視で上記複数の表側導電部と複数の裏側導電部との各交差領域に形成される検出部の静電容量を測定する測定手段とを備えた静電容量型センサであって、 上記各導電部がカーボンナノチューブを含み、 選択された一つの上記表側導電部及び選択された一つの上記裏側導電部を一定の電圧が印加されるように上記測定手段に接続するとともに、残りの表側導電部及び/又は残りの裏側導電部をグランド接続する制御手段を備えることを特徴とする静電容量型センサ。
IPC (3件):
G01B 7/16 ,  G01L 5/00 ,  G01B 7/00
FI (3件):
G01B7/16 C ,  G01L5/00 101Z ,  G01B7/00 102C
Fターム (16件):
2F051AB06 ,  2F051BA07 ,  2F063AA25 ,  2F063BA28 ,  2F063BA29 ,  2F063BB01 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DD07 ,  2F063HA01 ,  2F063HA10 ,  2F063HA14 ,  2F063HA16 ,  2F063HA18 ,  2F063LA04 ,  2F063LA09

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