特許
J-GLOBAL ID：201503001439833962

HfO2-TiO2材料を含む構造構成要素を有するジャイロスコープおよびデバイス

発明者：
クリス ペインター

クリス ペインター について


出願人/特許権者：
ビーイーアイ センサーズ アンド システムズ カンパニーインコーポレイテッド

ビーイーアイ センサーズ アンド システムズ カンパニーインコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 藤田 考晴 ,  上田 邦生 ,  川上 美紀
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-500438
公開番号（公開出願番号）：特表2015-511707
出願日： 2013年02月20日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
要約：
少なくとも1つがHfO2-TiO2材料を実質的に含む1以上の構造構成要素を備えるデバイスを含む、デバイス、材料、システム、および方法が開示される。また、少なくとも1つがHfO2-TiO2材料を実質的に含む1以上の構造構成要素を備える半球部と、半球部を振動させるために半球部に対して電気力を印加するように構成されたフォーサ電極と、半球部に近接して配設され、半球型共振器ジャイロスコープの振動パターンの配向を感知するように構成された、1以上のセンサ電極とを備える、半球型共振器が開示される。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つがHfO2-TiO2材料を実質的に含む1以上の構造構成要素 を備える、デバイス。
IPC (2件)：
G01C 19/569 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01C19/56 191 ,  H01L29/84 Z
Fターム (27件)：
2F105AA01 ,  2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA05 ,  2F105BB14 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112DA02 ,  4M112DA06 ,  4M112DA11 ,  4M112DA15 ,  4M112EA01 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112FA05 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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