ナノ粒子の流体捕捉

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 吉田憲悟 , 加藤正樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-516062
公開番号（公開出願番号）：特表2015-526271
出願日： 2013年05月29日
公開日（公表日）： 2015年09月10日
要約：

ナノ粒子を調製するためのシステムが説明される。該システムは、ガス中にナノ粒子を含むナノ粒子エアロゾルを生成するための反応器を含み得る。該システムはまた、入口と出口とを有するチャンバを有する拡散ポンプも含む。チャンバの入口は、反応器の出口と流体連通している。拡散ポンプはまた、拡散ポンプ流体を支持するためのチャンバと流体連通している容器と、容器中の拡散ポンプ流体を蒸気へと蒸発させるための加熱器とも含む。加えて、拡散ポンプは、蒸発させた拡散ポンプ流体をチャンバ内へ吐出するためのノズルを有する、容器と流体連通しているジェットアセンブリを有する。該システムは、チャンバの出口と流体連通している真空ポンプを更に含み得る。ナノ粒子を調製する方法もまた提供される。

請求項（抜粋）：

システムであって、ガス中にナノ粒子を含むナノ粒子エアロゾルを生成するための反応器であって、前駆体ガス入口と出口とを備える、反応器と、拡散ポンプであって、入口と出口とを有するチャンバであって、前記チャンバの前記入口が前記反応器の前記出口と流体連通している、チャンバ、拡散ポンプ流体を支持するための、前記チャンバと流体連通している容器、前記容器中の前記拡散ポンプ流体を蒸気へと蒸発させるための加熱器、及び前記蒸発させた拡散ポンプ流体を前記チャンバ内へ吐出するためのノズルを備える、前記容器と流体連通しているジェットアセンブリ、を備える、拡散ポンプと、前記チャンバの前記出口と流体連通している真空ポンプと、を備える、システム。

IPC (3件)：

B01J 19/08 , F04F 9/00 , H05H 1/46

FI (4件)：

B01J19/08 K , F04F9/00 Z , H05H1/46 L , H05H1/46 M

Fターム (21件)：

2G084AA26 , 2G084CC08 , 2G084CC12 , 2G084CC13 , 2G084CC21 , 2G084CC33 , 2G084DD02 , 2G084DD03 , 2G084EE06 , 2G084FF02 , 2G084FF19 , 2G084FF33 , 4G075AA27 , 4G075BA10 , 4G075BB08 , 4G075CA02 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EB42 , 4G075EC01 , 4G075EC25

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