特許

J-GLOBAL ID：201503001991653066

搬送装置及び半導体製造装置

発明者： 神垣 敏雄
出願人/特許権者： シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 大西 雅直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-263917
公開番号（公開出願番号）：特開2015-122348
出願日： 2013年12月20日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：

【課題】先端のアーム上に載置された被搬送物を移載場所へ搬送する際に、簡単な構成によって先端のアームの位置決め精度を向上させ、振動を抑制することのできる搬送装置を提供する。【解決手段】第1アーム12、第2アーム13及び先端のアームであるピック14からなるアーム機構10と、アーム機構10に駆動力を生じさせる駆動手段19と、ピック14を移載場所Pへ搬送する制御手段11と、を具備し、ピック14は第1の位置決め部21を備え、移載場所Pには第2の位置決め部24が備えられており、第1の位置決め部21が永久磁石21a〜21aから構成され、第2の位置決め部24が永久磁石24a〜24aから構成されて、ピック14が制御手段11の制御によって移載場所Pに近接すると、第1の位置決め部21と第2の位置決め部24との間に働く磁気吸引力によってピック14が移載場所Pに誘導されるように構成した。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

少なくとも2以上のアームからなるアーム機構と、前記アーム機構に駆動力を生じさせる駆動手段と、当該駆動手段を駆動させて先端のアームを移載場所へ搬送する制御手段と、を具備する搬送装置において、 前記先端のアームは第1の位置決め部を備え、前記移載場所には第2の位置決め部が備えられており、前記第1の位置決め部と前記第2の位置決め部の一方が磁石から構成され、他方が磁石又は磁性体から構成されて、 前記先端のアームが前記制御手段の制御によって前記移載場所に近接すると、前記第1の位置決め部と前記第2の位置決め部との間に働く磁気吸引力又は磁気反発力によって前記先端側のアームが前記移載場所に誘導されることを特徴する搬送装置。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (22件)：

5F131AA02 ,  5F131CA18 ,  5F131CA19 ,  5F131DA32 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB32 ,  5F131DB34 ,  5F131DB52 ,  5F131DB54 ,  5F131DB58 ,  5F131DB62 ,  5F131DB76 ,  5F131DB88 ,  5F131DB93 ,  5F131FA26 ,  5F131FA37 ,  5F131GA14 ,  5F131GA63 ,  5F131HA12 ,  5F131HA28