多結晶シリコンチャンクおよびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人川口國際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-139470
公開番号（公開出願番号）：特開2014-031309
特許番号：特許第5752748号
出願日： 2013年07月03日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】多結晶シリコンチャンクの製造方法であって、多結晶シリコンロッドを供給するステップ、多結晶シリコンロッドを粉砕して立方体チャンクにするステップおよび多結晶シリコンチャンクを洗浄するステップを含み、粉砕は少なくとも1つのスパイク付きロールを有するスパイク付きロールクラッシャーを使用して行い、少なくとも1つのスパイク付きロールがW2C相、コバルト、並びに炭化チタン、炭化クロム、炭化モリブデン、炭化バナジウムおよび炭化ニッケルからなる群から選択される金属炭化物を含む方法。

IPC (2件)：