特許
J-GLOBAL ID：201503002165486788
堆積された材料の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-146889
公開番号（公開出願番号）：特開2014-012894
特許番号：特許第5763716号
出願日： 2013年07月12日
公開日（公表日）： 2014年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウェハパレット内に基板ウェハを設置するステップと、
前記ウェハパレットを輸送キャリア及びアノードに結合するステップと、
を含み、前記基板ウェハは前記アノードから電気的に絶縁され、
前記基板ウェハ、前記ウェハパレット、前記輸送キャリア、及び前記アノードを、堆積チャンバを通って共に移動させるステップと、
前記基板ウェハ上に堆積材料を堆積させるステップと、
をさらに含み、
前記基板ウェハおよび前記ウェハパレットは同じ電位に保持されている、
堆積された材料の製造方法。
IPC (2件)：
C23C 14/34 ( 200 6.01)
, H01L 21/31 ( 200 6.01)
C23C 14/34 J
, H01L 21/31 D
