特許
J-GLOBAL ID:201503002240531424
ATR測定装置及びATR測定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, ▲高▼木 邦夫
, 柴田 昌聰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-170155
公開番号(公開出願番号):特開2015-040700
出願日: 2013年08月20日
公開日(公表日): 2015年03月02日
要約:
【課題】効率よく測定を繰り返すことができるATR測定装置及びATR測定方法を提供する。【解決手段】ATR測定装置1は、外部から光を内部へ入力する光入力面50a、光入力面50aを経て入力した光を全反射させるとともに試料70を載置する試料載置面50c、および、試料載置面50cで全反射した光を外部へ出力する光出力面50bを有するATRプリズム50と、測定時に測定位置に配置されたATRプリズム50に対し、光入力面50aを経てATRプリズム50の内部に入力させる光を出力する光源10と、光源10から出力されてATRプリズム50の光入力面50a、試料載置面50cおよび光出力面50bを経て到達した光を検出する検出器60と、を備え、ATRプリズム50が、試料載置面50cを有する少なくとも一部であって測定位置に対して着脱自在である着脱自在部を含む。【選択図】図1
請求項(抜粋):
外部から光を内部へ入力する光入力面、前記光入力面を経て入力した光を全反射させるとともに試料を載置する試料載置面、および、前記試料載置面で全反射した光を外部へ出力する光出力面を有するATRプリズムと、
測定時に測定位置に配置された前記ATRプリズムに対し、前記光入力面を経て前記ATRプリズムの内部に入力させる光を出力する光源と、
前記光源から出力されて前記ATRプリズムの前記光入力面、前記試料載置面および前記光出力面を経て到達した光を検出する検出器と、
を備え、
前記ATRプリズムが、前記試料載置面を有する少なくとも一部であって前記測定位置に対して着脱自在である着脱自在部を含む、
ことを特徴とするATR測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/27 B
, G01N21/35 Z
Fターム (15件):
2G059AA05
, 2G059BB04
, 2G059BB08
, 2G059CC12
, 2G059EE02
, 2G059EE10
, 2G059EE12
, 2G059FF05
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059JJ12
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059LL01
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