特許

J-GLOBAL ID：201503002264513444

光学式加速度計システム

発明者： ダグラス エイ マイヤー ,  マイケル ディー ブラトヴィッチ ,  マイケル エス ラーセン ,  ロバート シー グリフィス
出願人/特許権者： ノースロップ グルマン システムズ コーポレーション
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  福尾 誠 ,  君塚 絵美
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-516080
公開番号（公開出願番号）：特表2015-522807
出願日： 2013年05月31日
公開日（公表日）： 2015年08月06日
要約：

一実施形態は、加速度計システムを含む。本システムは、光学ビームを直線偏光で放射するよう構成されるレーザーを備える。また、本システムは、光学キャビティシステムを備える。光学キャビティシステムは、バネを介して加速度計ハウジングに連結され、光学ビームを反射するよう構成されるミラーを備える。また、光学キャビティシステムは、光学ビーム及び反射した光学ビームのうちの少なくとも一方の少なくとも一部を受光するよう構成され、加速度計ハウジングに作用する外部加速度に起因するミラーの動きを示す加速度信号を生成するよう構成された、少なくとも1つの光検知器を備える。本システムは、加速度信号に基づいて外部加速度の大きさを算出するよう構成された加速度プロセッサを、さらに備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

直線偏光で光学ビームを放射するよう構成されたレーザーと、 バネを介して加速度計ハウジングに連結され、前記光学ビームを反射するよう構成されたミラーを備える光学キャビティシステムであって、前記光学ビーム及び前記反射ビームの少なくとも一方の少なくとも一部を受光して、加速度計ハウジングに作用する外部加速度に起因する前記前記ミラーの動きを示す加速度信号を生成するよう構成された少なくとも1つの光検知器を備える前記光学キャビティシステムと、 前記加速度信号に基づいて前記外部加速度の大きさを算出するよう構成された加速度プロセッサと、 を備える、加速度計システム。

IPC (2件)：

G01P 15/08 ,  G01P 15/093

FI (2件)：

G01P15/08 101B ,  G01P15/093

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光干渉型センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-164397   出願人：立山科学工業株式会社
• 光学式加速度計及び光学式角加速度計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-046267   出願人：キヤノン株式会社
• 変位検出装置、露光装置、およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-082498   出願人：株式会社ニコン
• 特許第5694550号
  

審査官引用 (3件)

• 光干渉型センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-164397   出願人：立山科学工業株式会社
• 光学式加速度計及び光学式角加速度計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-046267   出願人：キヤノン株式会社
• 変位検出装置、露光装置、およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-082498   出願人：株式会社ニコン