特許
J-GLOBAL ID：201503002460467744
露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-150023
公開番号（公開出願番号）：特開2013-232679
特許番号：特許第5818032号
出願日： 2013年07月19日
公開日（公表日）： 2013年11月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定の走査方向に物体を走査しつつ、エネルギビームの照射によって前記物体にパターンを形成する走査露光型の露光装置であって、
少なくとも互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面に平行に移動可能な第1移動部材と、
前記物体が載置されるとともに、前記第1移動部材に保持され、少なくとも前記二次元平面に平行な面内で前記第1移動部材に対して相対移動可能で、前記二次元平面に実質的に平行な一面にグレーティングが形成された計測面が設けられた第2移動部材と、
前記計測面に少なくとも1本の第1計測ビームを照射し、該第1計測ビームの前記計測面の前記グレーティングからの回折光を受光するヘッド部を有し、該ヘッド部の出力に基づいて前記第2移動部材の少なくとも前記二次元平面内の位置情報を計測する第1計測系と、
前記第1計測系で計測された前記位置情報に基づいて、前記第2移動部材を単独で若しくは前記第1移動部材と一体で駆動する駆動系と、
前記第2移動部材上に載置された前記物体に前記エネルギビームを照射するパターニング装置と、を備え、
前記駆動系は、走査露光動作時には、第2移動部材のみを前記走査方向に駆動することで、前記物体を前記走査方向に走査する露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/68 ( 200 6.01)
G03F 7/20 521
, G01B 11/00 G
, H01L 21/68 K
, H01L 21/68 F
