特許
J-GLOBAL ID：201503002476020340
基板検査
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-512787
公開番号（公開出願番号）：特表2015-521286
出願日： 2013年05月15日
公開日（公表日）： 2015年07月27日
要約：
基板検査についての多様な実施形態が提供される。
請求項（抜粋）：
基板を検査するように構成されたシステムであって、
前記基板へ光を方向付けるように構成された照明サブシステムであって、パターンフィーチャは、前記基板の上面上に形成される、照明サブシステムと、
前記基板から散乱した光を集光するように構成された対物レンズと、
前記対物レンズによって集光された光の経路内に配置された光学素子であって、前記光学素子は、前記パターンフィーチャから散乱した光を第1の方向へ方向付け、他の散乱光を第2の方向へ方向付けるように、構成される、光学素子と、
前記第2の方向に方向付けられた光のみに応答して出力を生成するように構成された検出器と、
前記基板上の欠陥を前記出力を用いて検出するように構成されたプロセッサと、
を含む、システム。
IPC (2件)：
G01N 21/956
, G01N 21/958
G01N21/956 A
, G01N21/958
2G051AA42
, 2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BA04
, 2G051BA11
, 2G051BB01
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CC20
, 2G051EC01
