特許
J-GLOBAL ID：201503002968100064
バッチ蒸着のための高材料流束によるソース試薬に基づく流体の送出
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-515233
公開番号（公開出願番号）：特表2015-519478
出願日： 2013年05月31日
公開日（公表日）： 2015年07月09日
要約：
システム、試薬支持トレイ、粒子抑制デバイス及び方法が開示される。一態様において、システムは、内部容積を包囲する1以上の内壁を有する気化器容器と、内部容積内で垂直に積層可能に構成された複数の試薬支持トレイと、を含む。複数の試薬支持トレイの各々は、試薬支持トレイのスタックを形成するように内部容積内で垂直に積層可能に構成される。複数の試薬支持トレイのうちの1以上の試薬支持トレイは、試薬支持トレイのスタック中の隣接する試薬支持トレイの間を進むガス流を方向転換させることにより、該ガス流が特定の試薬支持トレイ内のソース試薬材料と相互に作用した後に、試薬支持トレイのスタックにおける複数の試薬支持トレイのうちの次の試薬支持トレイ内に進むことになるように構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
内部容積を包囲する1以上の内壁を有する気化器容器と、
複数の試薬支持トレイと、を備え、
前記複数の試薬支持トレイの各々は、ソース試薬材料の供給を支持するように構成された上面と、底面と、を有する支持表面を含み、
前記複数の試薬支持トレイは、試薬支持トレイのスタックを形成するように前記内部容積内で垂直に積層可能に構成され、前記複数の試薬支持トレイのうちの1以上の試薬支持トレイは、前記試薬支持トレイのスタックの隣接する2以上の試薬支持トレイの間を進むガス流を方向転換させることにより、当該ガス流が、前記試薬支持トレイのスタックの前記複数の試薬支持トレイのうちの次の試薬支持トレイ内に進む前に、前記複数の試薬支持トレイのうちの特定の試薬支持トレイ内の前記ソース試薬材料と相互に作用するように構成される、システム。
IPC (3件)：
C23C 16/448
, C23C 14/48
, H01L 21/205
C23C16/448
, C23C14/48 Z
, H01L21/205
4K029CA10
, 4K029DE01
, 4K030AA02
, 4K030AA03
, 4K030AA11
, 4K030EA01
, 5F045AA03
, 5F045AA04
, 5F045AA15
, 5F045AA20
, 5F045AC07
, 5F045AC08
, 5F045AC09
, 5F045AC14
, 5F045AC19
, 5F045BB08
, 5F045EE02
