特許
J-GLOBAL ID：201503003261063249
振動基板の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-227704
公開番号（公開出願番号）：特開2015-087335
出願日： 2013年10月31日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：
【課題】振動特性に優れた振動基板を効率的に製造することができる振動基板の製造方法を提供する。【解決手段】振動基板の製造方法は、母材20’として振動基板よりも厚いものを用意し、母材20’の表側の面201に検出用振動腕231、232の平面形状に沿ったパターニングを施すパターニング形成工程と、このパターニングに沿って母材20’を表側から除去しつつ、母材20’の裏側に除去しろ204を残す第1の除去工程と、検出用振動腕231、232の幅を測定して、その測定結果に基づいて検出用振動腕231、232の厚さを求める測定工程と、母材20’の裏側から除去しろ204を除去して、検出用振動腕231、232の厚さを測定工程で求められた厚さとする第2の除去工程とを有する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
板状をなす母材から製造され、該母材の厚さ方向に振動する少なくとも1本の振動腕を有する振動基板を製造する方法であって、
前記母材として前記振動基板よりも厚いものを用意して、前記母材の一方の面に前記振動腕の平面形状に沿ったパターニングを施すパターニング形成工程と、
前記パターニングに沿って前記母材を前記一方の面側から除去しつつ、前記母材の他方の面側に未だ除去されていない未除去部を残す第1の除去工程と、
前記振動腕の長手方向と直交する方向に沿った幅、または、前記振動腕の長手方向に沿った長さを測定して、その測定結果に基づいて前記振動腕の厚さを求める測定工程と、
前記母材の他方の面側から前記未除去部を除去して、前記振動腕の厚さを前記測定工程で求められた厚さとする第2の除去工程とを有することを特徴とする振動基板の製造方法。
IPC (4件)：
G01C 19/562
, H01L 41/113
, H01L 41/047
, H01L 41/337
G01C19/56 128
, H01L41/113
, H01L41/047
, H01L41/337
2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105AA08
, 2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
