特許
J-GLOBAL ID：201503003421922219
レーザ維持プラズマ光源におけるVUVフィルタリングを提供するためのプラズマセル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-553398
公開番号（公開出願番号）：特表2015-505419
出願日： 2013年01月17日
公開日（公表日）： 2015年02月19日
要約：
レーザ維持プラズマ光源に用いられるプラズマセルは、プラズマを発生させるのに適したガスを収容するように構成され、且つプラズマバルブ内のプラズマを維持するように構成されたポンプレーザから生じる光を実質的に通し、且つプラズマによる発光の収集可能なスペクトル領域の少なくとも一部を実質的に通す、プラズマバルブと、プラズマバルブの内面上に配置され、プラズマによる発光の選択されたスペクトル領域を遮断するように構成される、フィルタ層と、を含む。
請求項（抜粋）：
レーザ維持プラズマ光源に用いるのに適した紫外光フィルタリングのためのプラズマセルであって、
プラズマを発生させるのに適したガスを収容するように構成され、且つプラズマバルブ内のプラズマを維持するように構成されたポンプレーザから生じる光を実質的に通し、且つ前記プラズマによる発光の収集可能なスペクトル領域の少なくとも一部を実質的に通す、プラズマバルブと、
前記プラズマバルブの内面上に配置され、前記プラズマによる発光の選択されたスペクトル領域を遮断するように構成される、フィルタ層と、
を備えるプラズマセル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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