特許
J-GLOBAL ID：201503003625097692
不活性ガストラップを備える収着装置から異物ガスを制御して除去する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
庄司 隆
, 資延 由利子
, 大杉 卓也
, 曽我 亜紀
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-530462
公開番号（公開出願番号）：特表2015-527561
出願日： 2013年09月12日
公開日（公表日）： 2015年09月17日
要約：
本発明は、収着機、特に吸着機の動作中、不活性ガストラップから不活性ガスを除去することを可能にし、ひいてはこのような除去の制御の向上を確実にする方法に関する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
収着機から異物ガスを除去する方法であって、前記収着機は、少なくとも、
1つの吸着器及び1つの脱着器、又は1つの吸着器-脱着器ユニット、又は1つの吸着器及び1つの脱着器と、
1つの蒸発器及び1つの凝縮器、又は1つの蒸発器-凝縮器ユニットと、
1つの作動媒体と、
1つのリストリクター部材と、
1つの不活性ガストラップと、
を備え、前記不活性ガストラップは、少なくとも1つの冷却素子と1つの排出部材とを備え、該方法は、以下のステップ、すなわち、
a.前記不活性ガストラップを、前記冷却素子により、前記凝縮器の温度よりも低いか、該凝縮器の該温度と等しい又は略等しい温度に冷却するステップと、
b.蒸気状作動媒体を前記脱着器又は前記吸着器-脱着器ユニットから前記凝縮器に導入するステップであって、前記作動媒体は少なくとも部分的に前記凝縮器において凝縮し、異物ガスは前記凝縮器において回収される、ステップと、
c.前記凝縮器と前記不活性ガストラップとの間に配置されるリストリクター部材を開放するステップであって、前記異物ガス及び前記蒸気状作動媒体は、前記凝縮器から前記不活性ガストラップに流出する、ステップと、
d.前記不活性ガストラップを加熱するステップと、
e.前記異物ガスを前記不活性ガストラップから流出させることができる排出装置を開放するステップと、
を含み、前記ステップのうちの1つが制御信号によって開始され、該制御信号は、不活性ガスの量、性能の低下、サイクル数及び/又は動作時間を含む群から選択されることを特徴とする、方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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