特許

J-GLOBAL ID：201503003818398444

物理量センサー、高度計、電子機器および移動体

発明者： 矢島 有継
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-054932
公開番号（公開出願番号）：特開2015-175833
出願日： 2014年03月18日
公開日（公表日）： 2015年10月05日
要約：

【課題】優れた検出精度を有する物理量センサー、この物理量センサーを備えた信頼性の高い高度計、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】物理量センサー1は、撓み変形可能なダイアフラム24と、ダイアフラム24の周囲に配置され、厚さがダイアフラム24から離間する方向に増加する周囲壁部26と、ダイアフラム24の撓み量を検出する撓み量センサー3と、周囲壁部26に配置されている温度センサー6とを有している。また、周囲壁部26は、その厚さがダイアフラム24から遠ざかる方向に漸増するテーパー状をなしている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

撓み変形可能なダイアフラムと、 前記ダイアフラムの周囲に配置され、前記ダイアフラムから遠ざかる方向に厚さが増加する周囲壁部と、 前記ダイアフラムに配置され、前記ダイアフラムの撓み量を検出する撓み量検出素子と、 前記周囲壁部に配置されている温度検知素子と、 を有することを特徴とする物理量センサー。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01L9/00 303Q ,  H01L29/84 B

Fターム (21件)：

2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF02 ,  2F055GG11 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA08 ,  4M112CA11 ,  4M112CA12 ,  4M112CA14 ,  4M112DA04 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA14 ,  4M112FA20