特許

J-GLOBAL ID：201503003889190461

慣性力センサ

発明者： 石田 貴巳 ,  山本 賢作
出願人/特許権者： パナソニックIPマネジメント株式会社
代理人 (3件)： 藤井 兼太郎 ,  鎌田 健司 ,  前田 浩夫
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013001349
公開番号（公開出願番号）：WO2013-132830
出願日： 2013年03月05日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：

慣性力センサは、基部と、基部に設けられた接続用電極と、基部に支持された可撓部と、可撓部の上面に設けられた駆動部と、可撓部の上面に設けられた検出部と、駆動部と検出部とのうちの一方の上面に配された層間絶縁層と、層間絶縁層の上面を経由して駆動部と検出部とのうちの他方を接続用電極に電気的に接続する配線とを備える。この慣性力センサは、感度を向上できるとともに、小型である。

請求項（抜粋）：

基部と、 前記基部に設けられた第1の接続用電極と、 前記基部に支持された可撓部と、 前記可撓部の上面に設けられ、前記可撓部を励振する駆動部と、 前記可撓部の前記上面に設けられ、前記可撓部の変位を検知する第1の検出部と、 前記駆動部と前記第1の検出部とのうちの一方の上面に配された第1の層間絶縁層と、 前記第1の層間絶縁層の上面を経由して、前記駆動部と前記第1の検出部とのうちの他方を前記第1の接続用電極に電気的に接続する第1の配線と、 を備えた慣性力センサ。

IPC (7件)：

G01C 19/562 ,  G01P 15/09 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/053 ,  H01L 41/23 ,  H01L 41/29

FI (8件)：

G01C19/56 128 ,  G01C19/56 121 ,  G01P15/09 D ,  H01L41/113 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/23 ,  H01L41/29

Fターム (9件)：

2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105BB02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06