特許

J-GLOBAL ID：201503004331295335

基板検査方法

発明者： 宮澤 和利
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (2件)： 徳田 佳昭 ,  野村 幸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-141477
公開番号（公開出願番号）：特開2015-014522
出願日： 2013年07月05日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
要約：

【課題】塗布ヘッドから液滴を塗布する基板の表面状態を、迅速かつ簡便な方法で評価すること。【解決手段】 塗布ヘッドに設けた複数のノズル穴から基板上に液滴を吐出させ、基板上に形成した液滴痕の状態を評価する方法であって、基板全面に渡って塗布ヘッドから液滴を基板上に吐出することで、基板全面に対して格子状のパターンの液滴痕を形成する工程と、液滴痕を形成した基板に対して照明を当てながら、基板上面に設置したカメラで基板全面の液滴痕を撮像する工程と、前記撮像した画像の濃淡を二値化して、基板全面における全液滴痕の色を確認する方法を用いる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板に塗布ヘッドから液滴を基板上に吐出することで、前記基板に対して複数の液滴痕を形成する液滴形成工程と、 前記複数の液滴痕を形成した基板に対して、設定された前記液滴痕の高さと同じ波長の光を照射し、撮像器で前記複数の液滴痕を撮像する撮像工程と、 前記撮像した画像から、不良の液滴痕の有無を検査する検査工程と、を含むことを特徴とした基板検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/47 ,  G01N 21/17 ,  B05D 1/26

FI (3件)：

G01N21/47 B ,  G01N21/17 A ,  B05D1/26 Z

Fターム (21件)：

2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059JJ02 ,  2G059KK04 ,  2G059MM05 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC91 ,  4D075CB38 ,  4D075DA06 ,  4D075DB31 ,  4D075DB39 ,  4D075DB47 ,  4D075DB48 ,  4D075DB54 ,  4D075DC24