特許
J-GLOBAL ID:201503004534734548

光学式変位計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杢保 英治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-079470
公開番号(公開出願番号):特開2015-200572
出願日: 2014年04月08日
公開日(公表日): 2015年11月12日
要約:
【課題】光学式変位計に関し、特に、より測定可能範囲が広く、より広範囲で変位量を検出することができる光学式変位計を提供する。【解決手段】出力波長の異なる二つの光源(半導体レーザ)101a、101bを備え、射出された光を光ファイバ102a、102bでサーキュレータ103a、103bへとそれぞれ導入した後、光ファイバカプラ105で結合して、測定対象である検出体109へと照射する。光ファイバ末端の端面、検出体109の表面でそれぞれ反射した光を、検出器104a、104bでそれぞれ検出する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
各々、異なる波長の光を射出する複数の光源と、 光ファイバを含み、当該光ファイバ末端から、前記複数の光源の光を測定対象となる検出体に照射させる光伝達手段と、 前記複数の光源の波長に対応して、特定帯域の波長の光を入出力させる複数のサーキュレータ部品と、 前記サーキュレータ部品の各々の、測定対象となる検出体と逆側に出力された光から得られる干渉光の強度を検出する検出器とを備える ことを特徴とする光学式変位計。
IPC (1件):
G01N 21/45
FI (1件):
G01N21/45 A
Fターム (11件):
2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK02 ,  2G059KK03

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