特許

J-GLOBAL ID：201503004697625274

単結晶の切断方法

発明者： フィリップ・オクタビアン ,  エペルバウム・ボリス ,  ビカーマン・マティアス ,  ヴィナカー・アルブレヒト ,  ハイマン・ポール ,  ザイツ・ウルリッヒ
出願人/特許権者： クリスタル-エヌ ゲーエムベーハー
代理人 (7件)： 杉本 修司 ,  野田 雅士 ,  堤 健郎 ,  林田 久美子 ,  小林 由佳 ,  中田 健一 ,  金子 大輔
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-516517
公開番号（公開出願番号）：特表2015-526313
出願日： 2013年04月16日
公開日（公表日）： 2015年09月10日
要約：

【課題】極性軸を有する単結晶を、平面状の切断面を有するスライスに出来るだけ簡単に且つ低コストで切断することのできる方法を提供する。【解決手段】第1の極性軸P1を有する単結晶1を切断する方法は、単結晶1を、切断工具2に対し、第1の極性軸P1が目標の切断平面SEに対して略垂直に向くように配置する過程と、第2の極性軸P2を有する少なくとも1つのさらなる単結晶5を、第1の極性軸P1と第2の極性軸P2とが略平行でありながら反対に向くように配置する過程と、切断工具2を、目標の切断平面SEに沿って、単結晶1と少なくとも1つのさらなる単結晶5とに同時に案内する過程と、を含む。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

第1の極性軸(P1)を有する単結晶(1)を切断する方法であって、 前記単結晶(1)を、切断工具(2)に対し、前記第1の極性軸(P1)が目標の切断平面(SE)に対して略垂直に向くように配置する過程と、 第2の極性軸(P2)を有する少なくとも1つのさらなる単結晶(5)を、前記第1の極性軸(P1)と前記第2の極性軸(P2)とが略平行でありながら反対に向くように配置する過程と、 前記切断工具(2)を、前記目標の切断平面(SE)に沿って、前記単結晶(1)と前記少なくとも1つのさらなる単結晶(5)とに同時に案内する過程と、 を含む、単結晶の切断方法。

IPC (3件)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B28D5/04 Z ,  B24B27/06 D ,  H01L21/304 611W ,  B28D5/04 C

Fターム (25件)：

3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069CA04 ,  3C069EA02 ,  3C158AA05 ,  3C158AB04 ,  3C158AB08 ,  3C158CA01 ,  3C158CA05 ,  3C158CB02 ,  3C158CB03 ,  3C158CB05 ,  3C158CB10 ,  5F057AA02 ,  5F057AA14 ,  5F057AA33 ,  5F057BA01 ,  5F057BB05 ,  5F057BB06 ,  5F057BB07 ,  5F057BB08 ,  5F057CA02 ,  5F057DA15 ,  5F057EB24 ,  5F057FA12