特許

J-GLOBAL ID：201503004799036958

表面形状検査装置

発明者： 中村 俊介
出願人/特許権者： NOK株式会社
代理人 (2件)： 野本 陽一 ,  桐山 大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-006475
公開番号（公開出願番号）：特開2015-135265
出願日： 2014年01月17日
公開日（公表日）： 2015年07月27日
要約：

【課題】被検査体10の表面形状と、面荒れなどによる欠陥の双方を検出可能として検査精度を向上させた表面形状検査装置を提供する。【解決手段】被検査体10の表面に光切断線LLを形成する照明光L0を照射する光源2と、光切断線LLの両側に位置して配置され被検査体10の表面からの反射光の一部を反射させる一対のミラー4,5と、光切断線LLからの反射光のうちさらに各ミラー4,5で反射した反射光L1,L2、及び光切断線LLからの反射光のうち一対のミラー4,5の間を通過した反射光L3を受光して光切断線LLの画像データP1〜P3を出力する撮像手段6と、画像データP1〜P3に所定の画像処理を行う画像処理手段7を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査体の表面に光切断線を形成する照明光を照射する光源と、前記光切断線の両側に位置して配置され前記被検査体の表面からの反射光の一部を反射させる一対のミラーと、前記光切断線からの反射光のうちさらに前記各ミラーで反射した反射光、及び前記光切断線からの反射光のうち前記一対のミラーの間を通過した反射光を受光して前記光切断線の画像データを出力する撮像手段と、前記画像データに所定の画像処理を行う画像処理手段を備えることを特徴とする表面形状検査装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (19件)：

2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13