塗布装置及び塗布方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-225810
公開番号（公開出願番号）：特開2015-192984
出願日： 2014年11月06日
公開日（公表日）： 2015年11月05日
要約：

【課題】ノズルの吐出口を下向きにしたキャピラリー塗布で、塗布膜形成中に一定の圧力がビードに作用するようにして、均一厚さの薄い塗布膜が形成できるようにするとともに、塗布開始部と塗布終了部とでのビードへの塗布液供給量を適切に制御して、均一厚さの製品領域を最大限にすることが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。【解決手段】塗布液貯蔵部、供給流路、吐出口、塗布液貯蔵部と吐出口とを連通するスリット状流路、を備える塗布器と、塗布器等を移動させる移動手段と、昇降装置と、塗布器内の塗布液に圧力を作用させる圧力付与装置と、を備え、塗布液貯蔵部内の圧力を測定する圧力計を備えるとともに、圧力付与装置は、タンクと、開閉バルブと、圧力作用器と、塗布液貯蔵部内の圧力に基づき圧力作用器の作用圧力を制御する圧力制御装置と、を備えることを特徴とする塗布装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

塗布液を貯蔵する長手方向に延びる塗布液貯蔵部、前記塗布液貯蔵部に塗布液を供給する供給流路、前記塗布液貯蔵部の下側にあって塗布液を吐出する吐出口、前記塗布液貯蔵部と前記吐出口とを連通する長手方向に延びるスリット状流路、を備える塗布器と、前記塗布器及び被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段と、前記吐出口を被塗布部材に近接又は遠隔させる昇降装置と、前記塗布器内の塗布液に前記供給流路を介して圧力を作用させる圧力付与装置と、を備え、前記塗布器内の塗布液に負圧を作用させながら被塗布部材に塗布液を塗布する塗布装置であって、さらに前記塗布液貯蔵部内の圧力を測定する圧力計を備えるとともに、前記圧力付与装置は、塗布液を貯留するタンクと、前記タンクから前記塗布器内の塗布液への圧力の作用又は遮断を行う開閉バルブと、前記タンク内の塗布液に圧力を作用させる圧力作用器と、前記圧力計で測定される前記塗布液貯蔵部内の圧力に基づき、前記圧力作用器の作用圧力を制御する圧力制御装置と、を備えることを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/02 , B05C 11/10 , B05D 1/26

FI (3件)：

B05C5/02 , B05C11/10 , B05D1/26 Z

Fターム (33件)：

4D075AC02 , 4D075AC04 , 4D075AC73 , 4D075AC84 , 4D075AC88 , 4D075AC93 , 4D075AC95 , 4D075AE03 , 4D075AE06 , 4D075CA48 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB31 , 4D075DC22 , 4D075EA05 , 4D075EA43 , 4D075EA45 , 4D075EA60 , 4F041AA02 , 4F041AA04 , 4F041AB01 , 4F041CA02 , 4F041CA16 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042BA07 , 4F042BA25 , 4F042CA09 , 4F042CB08 , 4F042CB10 , 4F042CB24

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