特許

J-GLOBAL ID：201503004951010837

有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法

発明者： 大河原 健 ,  坂元 博次
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンディスプレイ
代理人 (1件)： 特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-202359
公開番号（公開出願番号）：特開2015-069806
出願日： 2013年09月27日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：

【課題】歩留り低下を抑制可能な有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を実現することを目的とする。【解決手段】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法は、表示領域と端子形成領域とを有する母基板の、前記表示領域それぞれの上に上部電極を形成する工程と、前記母基板を前記表示領域同士の境界に沿って切断することで複数の個片に分割する工程と、を備え、前記上部電極を形成する工程が、枠状のフレーム202と前記端子形成領域に対応する領域を覆う帯状の遮蔽部204とを有するマスク200を用いて前記表示領域上に前記上部電極の材料を成膜する工程を有し、前記遮蔽部が前記フレームの対向する辺同士の間に架け渡されて一方向Yへの張力が印加された状態で固定され、平面視で前記フレームの内周の内側において前記一方向にのみ延在する、ことを特徴とする。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

表示領域と端子形成領域とを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示装置形成領域がマトリクス状に配列された母基板の、前記表示領域それぞれの上に薄膜トランジスタを形成する工程と、 前記薄膜トランジスタ上に下部電極を形成する工程と、 前記下部電極上に、発光層を有する有機層を形成する工程と、 前記有機層上に上部電極を形成する工程と、 前記母基板を前記表示領域同士の境界に沿って切断することで複数の個片に分割する工程と、を備え、 前記上部電極を形成する工程が、 枠状のフレームと前記端子形成領域に対応する領域を覆う帯状の遮蔽部とを有するマスクを用いて前記表示領域上に前記上部電極の材料を成膜する工程を有し、 前記遮蔽部が前記フレームの対向する辺同士の間に架け渡されて一方向への張力が印加された状態で固定され、平面視で前記フレームの内周の内側において前記一方向にのみ延在する、 ことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/06 ,  H05B 33/26

FI (4件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/06 ,  H05B33/26 Z

Fターム (8件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107DD38 ,  3K107EE03 ,  3K107GG02 ,  3K107GG33 ,  3K107GG52

引用特許：

審査官引用 (1件)

• シャドーマスク拘束方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-331464   出願人：ザビーオーシーグループインコーポレイテッド