特許
J-GLOBAL ID：201503005378475860
酸化亜鉛単結晶の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高村 雅晴
, 加島 広基
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013054594
公開番号（公開出願番号）：WO2013-136948
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
有害物質を用いることなく、ドーパントを多量に固溶した酸化亜鉛単結晶を高い生産性及び再現性で安定的に製造できる方法が提供される。本発明の酸化亜鉛単結晶の製造方法は、主に酸化亜鉛からなり、B、Al、Ga、In、C、F、Cl、Br、I、H、Li、Na、K、N、P、As、Cu、及びAgからなる群から選択される少なくとも一種のドーパント元素を合計で0.01at%以上1at%以下含み、酸化亜鉛以外の結晶相を実質的に含まない原料粉末を用意する工程と、原料粉末を噴射して、酸化亜鉛単結晶を含む種基板上に主に酸化亜鉛からなる膜を形成すると共に、形成した膜を固相状態のまま結晶化させて前記ドーパント元素が固溶された酸化亜鉛単結晶を得る工程とを有する。
請求項（抜粋）：
主に酸化亜鉛からなり、B、Al、Ga、In、C、F、Cl、Br、I、H、Li、Na、K、N、P、As、Cu、及びAgからなる群から選択される少なくとも一種のドーパント元素を合計で0.01at%以上1at%以下含み、酸化亜鉛以外の結晶相を実質的に含まない原料粉末を用意する工程と、
前記原料粉末を噴射して、酸化亜鉛単結晶を含む種基板上に主に酸化亜鉛からなる膜を形成すると共に、前記形成した膜を固相状態のまま結晶化させて前記ドーパント元素が固溶された酸化亜鉛単結晶を得る工程と、
を有する、酸化亜鉛単結晶の製造方法。
IPC (3件)：
C30B 29/16
, C30B 1/04
, C01G 9/02
C30B29/16
, C30B1/04
, C01G9/02 B
4G047AA04
, 4G047AB01
, 4G047AB02
, 4G047AC03
, 4G047AD01
, 4G077AA02
, 4G077AA03
, 4G077AB01
, 4G077AB07
, 4G077BB07
, 4G077CA04
, 4G077CA09
, 4G077EB01
, 4G077JA03
, 4G077JA05
, 4G077JB07
