特許

J-GLOBAL ID：201503005620702698

スパッタリング装置

発明者： モーゼ,パトリック・ローレンス
出願人/特許権者： スパッタリング・コンポーネンツ・インコーポレーテッド
代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  竹内 茂雄 ,  山本 修 ,  佐久間 滋
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-530133
公開番号（公開出願番号）：特表2015-530482
出願日： 2013年09月03日
公開日（公表日）： 2015年10月15日
要約：

一実施形態は、複数の磁石と、複数の磁石を少なくとも4つの一直線の、平行な、独立した線形アレイに保持するように構成されたヨークとを備えたマグネトロンアセンブリに関する。複数の磁石は、外側部および内側部を備えたパターンを形成するようにヨークに配置構成され、外側部は内側部の外周を実質的に囲む。線形アレイの端部は一対の方向転換部分を備え、各方向転換部分は、外側部の一対の細長い部分の各端部を実質的にわたる。各方向転換部分における磁石は、ターゲット回転軸に沿って各々からずらされる少なくとも2つ以上の種々の曲線を磁界内に形成するように配置構成される。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

マグネトロンアセンブリであって、 複数の磁石と、 前記複数の磁石を少なくとも4つの一直線の、平行な、独立した線形アレイに保持するように構成されたヨークと を備えており、 前記複数の磁石が、外側部および内側部を備えたパターンを形成するように前記ヨークに配置構成され、前記外側部が前記内側部の外周を実質的に囲み、 前記線形アレイの端部が一対の方向転換部分を備え、各方向転換部分が前記外側部の一対の細長い部分の各端部を実質的にわたり、 各方向転換部分における前記磁石が、ターゲット回転軸に沿って各々からずらされる少なくとも2つ以上の種々の曲線を磁界内に形成するように配置構成された マグネトロンアセンブリ。

IPC (2件)：

C23C 14/35 ,  C23C 14/34

FI (2件)：

C23C14/35 C ,  C23C14/34 C

Fターム (5件)：

4K029DC13 ,  4K029DC25 ,  4K029DC42 ,  4K029DC43 ,  4K029DC45