特許
J-GLOBAL ID：201503005912084073
インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-001956
公開番号（公開出願番号）：特開2015-130448
出願日： 2014年01月08日
公開日（公表日）： 2015年07月16日
要約：
【課題】重ね合わせ精度の点で有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】基板上のインプリント材をモールドで成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、前記基板上のインプリント材と前記モールドとが接触した状態で前記モールドの位置と前記基板の位置とを互いに整合させる場合に前記モールド及び前記基板のうちの少なくとも一方に生じるせん断力を検出する検出部と、前記検出部によって検出されたせん断力に基づいて、前記インプリント処理を制御する制御部と、を有することを特徴とするインプリント装置を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上のインプリント材をモールドで成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
前記基板上のインプリント材と前記モールドとが接触した状態で前記モールドの位置と前記基板の位置とを互いに整合させる場合に前記モールド及び前記基板のうちの少なくとも一方に生じるせん断力を検出する検出部と、
前記検出部によって検出されたせん断力に基づいて、前記インプリント処理を制御する制御部と、
を有することを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AM32
, 4F209AP01
, 4F209AP20
, 4F209AR08
, 5F146AA31
