特許
J-GLOBAL ID：201503005940691561
切削溝の検出方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 宏義
, 天田 昌行
, 岡田 喜雅
, 菅野 亨
, 溝口 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-177988
公開番号（公開出願番号）：特開2015-046541
出願日： 2013年08月29日
公開日（公表日）： 2015年03月12日
要約：
【課題】切削ブレードの厚みが撮像手段の1視野よりも大きい場合においても、撮像手段の倍率変更等の作業をなくすことができ、精度良く切削溝の位置を検出すること。【解決手段】切削溝(M)の第一のエッジ(M1)及び第二のエッジ(M2)間の幅(y1)は、撮像手段(14)の撮像視野(14a)よりも大きく形成されている。撮像手段で第一のエッジを含む領域を撮像し、撮像視野内の第一のエッジの座標情報を取得する工程と、撮像手段を切削割り出し送り方向であるY軸方向に移動させ、撮像視野に切削溝の第二のエッジを含む領域が入るように撮像手段を位置付ける工程と、撮像手段で第二のエッジを含む領域を撮像し、撮像視野内の第二のエッジの座標情報を取得する工程と、第一及び第二のエッジの座標情報と、撮像手段のY軸方向移動量情報から切削溝の幅等を算出する工程とを行う。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
裏面にダイシングテープが貼着され表面にデバイスが形成されたウェーハの該裏面側を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハに切削加工を施す切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を撮像する所定の撮像視野を有し且つ該撮像視野内に切削すべき位置を検出する基準線を備えた撮像手段と、該撮像手段及び該チャックテーブルを相対的に移動させる移動手段と、を具備する切削装置を用い、該撮像手段によってチャックテーブルに保持されたウェーハの切削すべき位置を検出する工程と、該切削手段によってウェーハの切削すべき領域に切削溝を形成する工程とを実施している際に、ウェーハに形成された該切削溝の位置を検出する切削溝の検出方法であって、
該切削溝の片側のエッジである第一のエッジ及び他側のエッジである第二のエッジ間の幅は該撮像手段の撮像視野よりも大きく、
該撮像視野に該切削溝の該第一のエッジを含む領域が入るように該撮像手段を位置付け、該第一のエッジを含む領域を撮像して、該撮像視野内の該第一のエッジの位置情報を取得する第一のエッジ情報取得工程と、
該第一のエッジ情報取得工程を実施した後に、該撮像手段を切削割り出し送り方向であるY軸方向に移動させて該撮像視野に該切削溝の該第二のエッジを含む領域が入るように該撮像手段を位置付け、該第二のエッジを含む領域を撮像して、該撮像視野内の該第二のエッジの位置情報を取得する第二のエッジ情報取得工程と、
該第二のエッジ情報取得工程を実施した後に、該第一のエッジの位置情報、該第二のエッジの位置情報及び該撮像手段のY軸方向移動量情報から該切削溝と該基準線との位置関係を算出する切削溝位置算出工程と、
を含むことを特徴とする切削溝の検出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5F063AA29
, 5F063CA04
, 5F063DE02
, 5F063DE07
, 5F063DE33
