特許

J-GLOBAL ID：201503006002611342

縦型ウエハボート

発明者： 佐藤 浩昌
出願人/特許権者： コバレントマテリアル株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-186311
公開番号（公開出願番号）：特開2015-053435
出願日： 2013年09月09日
公開日（公表日）： 2015年03月19日
要約：

【課題】ウエハに接触傷が生じ難く、ウエハのスリップ、転位を抑制できる縦型ウエハボートを提供する。【解決手段】ウエハ挿入前側に位置する第1、第2の支柱3,4に形成されたウエハ支持体は、ウエハ挿入前側からウエハ挿入奥側に向かって上方に傾斜する第1、第2のウエハ載置面3a,4aを有し、前記ウエハ挿入奥側に位置する第3の支柱5に形成されたウエハ支持体は、前記第1、第2のウエハ支持体に形成されたウエハ載置面3a,4aの延長線上に形成され、ウエハ挿入前側からウエハ挿入奥側に向かって上方に傾斜する第3のウエハ載置面5aを有し、前記第1、第2のウエハ載置面3a,4と前記第3のウエハ載置面5aに載置かれたウエハWは、ウエハ挿入前側からウエハ挿入奥側に向かって上方に傾斜した状態で載置される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウエハの外周部を支持する縦型ウエハボートにおいて、 鉛直方向に互いに平行状態に配置されたウエハ挿入前側の第1、第2の支柱と、 ウエハ挿入奥側の1本または複数本の支柱からなる第3の支柱と、 前記各支柱の側面に形成された複数のウエハを支持するウエハ支持体と、を具備した縦型ウエハボートであって、 前記ウエハ挿入前側に位置する第1、第2の支柱に形成されたウエハ支持体は、ウエハ挿入前側からウエハ挿入奥側に向かって上方に傾斜する第1、第2のウエハ載置面を有し、 前記ウエハ挿入奥側に位置する第3の支柱に形成されたウエハ支持体は、前記第1、第2のウエハ支持体に形成されたウエハ載置面の延長線上に形成され、ウエハ挿入前側からウエハ挿入奥側に向かって上方に傾斜する第3のウエハ載置面を有し、 前記第1、第2のウエハ載置面と前記第3のウエハ載置面に載置かれたウエハは、ウエハ挿入前側からウエハ挿入奥側に向かって上方に傾斜した状態で載置されることを特徴とする縦型ウエハボート。

IPC (3件)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/683

FI (3件)：

H01L21/22 511G ,  H01L21/205 ,  H01L21/68 N

Fターム (20件)：

5F045AA06 ,  5F045AA20 ,  5F045BB11 ,  5F045BB12 ,  5F045DP18 ,  5F045EM08 ,  5F131AA02 ,  5F131BA04 ,  5F131BA22 ,  5F131CA09 ,  5F131CA22 ,  5F131DA05 ,  5F131DA33 ,  5F131DA43 ,  5F131DA55 ,  5F131EC02 ,  5F131EC08 ,  5F131EC13 ,  5F131EC14 ,  5F131EC18