特許
J-GLOBAL ID：201503006063646351
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-131247
公開番号（公開出願番号）：特開2015-004628
出願日： 2013年06月24日
公開日（公表日）： 2015年01月08日
要約：
【課題】 光テコ方式を採用した走査型プローブ顕微鏡をコンパクト化、振動ノイズの影響を低減するとともに、初期光学調整を簡単に行えるようにする。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡は、先端に探針3を備えたカンチレバー1を備え、探針3の先端と試料表面間に作用する力によるカンチレバー1の動きを光源からの照射光を用いて検出する、光テコ方式を採用している。この光源をカンチレバー1の先端部に設け、この光源からの照射光を分割フォトダイオード6に向けて照射するようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
先端に探針を備えたカンチレバーを備え、前記探針の先端と試料表面間に作用する力による前記カンチレバーの動きを光源からの照射光を用いて検出する、光テコ方式を採用した走査型プローブ顕微鏡において、
前記光源を前記カンチレバーの先端部に設け、該光源からの照射光をフォトダイオードに向けて照射するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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