特許

J-GLOBAL ID：201503006083013267

基板処理装置

発明者： 菊本 憲幸
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
代理人 (3件)： 松阪 正弘 ,  田中 勉 ,  井田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-267484
公開番号（公開出願番号）：特開2015-126013
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
要約：

【課題】処理液を用いて基板を処理する基板処理装置において、チャンバを小さくしつつ、パーティクルの発生の抑制および処理液の回収を実現する。【解決手段】チャンバ12では、チャンバ蓋部122が昇降する。チャンバ蓋部122およびカップ部161が接しつつ高い位置に位置する状態にて基板9に薬液が吐出され、カップ部161にて薬液が回収される。チャンバ蓋部122およびカップ部161が接しつつ低い位置に位置する状態にて基板9に純水が吐出され、チャンバ12にて液が集められる。チャンバ蓋部122の内周部は、下方に突出する下方突出部31を含む。下方突出部は、チャンバ蓋部122とチャンバ本体121との間の隙間の径方向内側を覆う。これにより、隙間に処理液が入り込んでパーティクルの発生源となることが抑制される。チャンバ蓋部122にて処理液を受けるため、チャンバ12を小さくすることができる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板を処理する基板処理装置であって、 チャンバ本体およびチャンバ蓋部を有し、前記チャンバ蓋部が前記チャンバ本体の上部開口に近接または前記上部開口に接するチャンバ閉状態においてチャンバ空間を形成するチャンバと、 前記チャンバ蓋部を前記チャンバ本体に対して上下方向に相対的に移動するチャンバ開閉機構と、 前記チャンバ閉状態において前記チャンバ空間に位置し、水平状態で基板を保持する基板保持部と、 上下方向を向く中心軸を中心として前記基板を前記基板保持部と共に回転する基板回転機構と、 前記基板上に処理液を供給する処理液吐出部と、 前記チャンバの外側に全周に亘って位置し、前記チャンバの外周に側方空間を形成し、前記チャンバ蓋部が前記チャンバ本体から離間することにより前記基板の周囲に形成される環状開口を介して、回転する前記基板から飛散する処理液を受けるカップ部と、 を備え、 前記チャンバ蓋部の下部が、全周に亘って下方に突出する下方突出部を含み、 前記チャンバ閉状態において、前記下方突出部の下端が前記基板保持部に保持される基板よりも下に位置し、かつ、前記下方突出部が前記チャンバ蓋部と前記チャンバ本体との間の隙間または境界の径方向内側を覆い、 前記環状開口が形成された状態で、前記カップ部が前記チャンバ蓋部に接することにより、前記チャンバ本体、前記チャンバ蓋部および前記カップ部を含む部位が1つの拡大密閉空間を形成することを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 ,  H01L 21/306 ,  G03F 7/30 ,  G02F 1/13 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

H01L21/304 648H ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 651B ,  H01L21/304 648K ,  H01L21/306 R ,  G03F7/30 501 ,  G02F1/13 101 ,  H01L21/30 572B

Fターム (60件)：

2H088FA17 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H096AA25 ,  2H096GA33 ,  2H196AA25 ,  2H196GA33 ,  5F043DD13 ,  5F043EE03 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE35 ,  5F043GG10 ,  5F146MA03 ,  5F146MA05 ,  5F146MA06 ,  5F146MA10 ,  5F146MA19 ,  5F157AA93 ,  5F157AA94 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157AC02 ,  5F157AC26 ,  5F157BB22 ,  5F157BB44 ,  5F157BE12 ,  5F157BE46 ,  5F157BF22 ,  5F157BF39 ,  5F157BH18 ,  5F157BH21 ,  5F157CB03 ,  5F157CB13 ,  5F157CB14 ,  5F157CC02 ,  5F157CE02 ,  5F157CE05 ,  5F157CE07 ,  5F157CE10 ,  5F157CE23 ,  5F157CE61 ,  5F157CF02 ,  5F157CF22 ,  5F157CF24 ,  5F157CF88 ,  5F157CF90 ,  5F157CF92 ,  5F157DB02 ,  5F157DB22 ,  5F157DB51 ,  5F157DC51 ,  5F157DC83 ,  5F157DC84 ,  5F157DC85 ,  5F157DC90