特許

J-GLOBAL ID：201503006646828490

光学測定装置および光学測定方法

発明者： 塚田 敏秋 ,  瀬戸 啓介 ,  小林 孝嘉
出願人/特許権者： 塚田 敏秋 ,  国立大学法人電気通信大学
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-191427
公開番号（公開出願番号）：特開2015-087385
出願日： 2014年09月19日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：

【課題】 光源の出力光の強度変化や受光器の感度変化の影響を受けることなく高速高感度で高精度の安定した測定が行える光学測定技術を提供する。【解決手段】 光学測定装置は、光源と、前記光源からの出力光の一部の光成分を他の光成分に対してπ/2遅延させるπ/2位相加算器と、前記π/2位相加算器を介した光と、試料に導かれ、前記試料で透過または反射された光を検出する受光器と、前記受光器で検出された検出光と、前記光源に同期する同期信号とを入力とし、前記同期信号を用いて前記検出光に生じた位相変化を検出する位相変化検出器と、を有し、前記位相変化により前記試料の特性を取得する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光源と、 前記光源からの出力光の一部の光成分を他の光成分に対してπ/2遅延させるπ/2位相加算器と、 前記π/2位相加算器を介した光と、試料に導かれ、前記試料で透過または反射された光を検出する受光器と、 前記受光器で検出された検出光と、前記光源に同期する同期信号とを入力とし、前記同期信号を用いて前記検出光に生じた位相変化を検出する位相変化検出器と、 を有し、前記位相変化により前記試料の特性を取得することを特徴とする光学測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/41 ,  G01N 21/65

FI (2件)：

G01N21/41 Z ,  G01N21/65

Fターム (44件)：

2G043AA03 ,  2G043BA14 ,  2G043CA06 ,  2G043EA03 ,  2G043EA13 ,  2G043FA01 ,  2G043FA06 ,  2G043GA06 ,  2G043GB28 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA07 ,  2G043HA09 ,  2G043JA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G043MA01 ,  2G043NA13 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059CC12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE03 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM14 ,  2G059NN01 ,  2G059NN08