特許
J-GLOBAL ID：201503006814371613
サファイア単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-268474
公開番号（公開出願番号）：特開2015-124103
出願日： 2013年12月26日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
要約：
【課題】 チョクラルスキー法で直胴部直径が150mm以上、かつ直胴長さが200mmを超える長さのサファイアインゴットを育成するに際し、直胴後半部に泡群及びリネージが発生しないサファイア単結晶の製造法を提供する。【解決手段】 チョクラルスキー法で直胴部直径が150mm以上のサファイアインゴットを育成するに際し、少なくとも原料の固化率が15%になるまでの結晶回転数は0.1〜1rpmとするとともに、原料の固化率が28%となった以降の結晶回転数は2〜6rpmで育成する。リネージの発生しやすい育成なかばまでは、結晶回転数を小さくして該リネージの発生を抑え、育成後半においては、結晶回転数を大きくして不純物の濃縮等による泡の発生を抑制する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
チョクラルスキー法で直胴部直径が150mm以上のサファイアインゴットを育成するに際し、少なくとも原料の固化率が15%になるまでの結晶回転数は0.1〜1rpmとするとともに、原料の固化率が28%となった以降の結晶回転数は2〜6rpmで育成することを特徴とするサファイアインゴットの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
4G077AA02
, 4G077AB09
, 4G077AB10
, 4G077BB01
, 4G077CF10
, 4G077EA07
, 4G077EH08
, 4G077HA12
, 4G077PA03
, 4G077PG01
