研磨パッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人田中・岡崎アンドアソシエイツ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-264968
公開番号（公開出願番号）：特開2014-108498
特許番号：特許第5765858号
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基材と吸着層とからなる吸着材と、研磨層とが接合されてなる研磨パッドにおいて、前記吸着層は、両末端にのみビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーン、両末端及び側鎖にビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーン、末端にのみビニル基を有する分岐状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーン、及び末端及び側鎖にビニル基を有する分岐状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンから選ばれる少なくとも1種のシリコーンを架橋させてなる組成物からなるものであり、前記吸着層の厚さは、20〜30μmであり、前記吸着層は、その表面粗さの平均値Saが0.02〜0.06μmであると共に、吸着層の中心部の表面粗さ(Sc)とSaとの差、及び、吸着層の端部の表面粗さ(So)とSaとの差がいずれも0.02μm以下であること特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/24 ( 201 2.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B24B 37/00 L , H01L 21/304 622 F

引用特許：

出願人引用 (5件)

基板用研磨定盤
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-145029 出願人：株式会社岡本工作機械製作所
研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-083005 出願人：富士紡ホールディングス株式会社
取替え交換が容易な積層研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-050000 出願人：丸石産業株式会社

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審査官引用 (5件)

基板用研磨定盤
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-145029 出願人：株式会社岡本工作機械製作所
研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-083005 出願人：富士紡ホールディングス株式会社
取替え交換が容易な積層研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-050000 出願人：丸石産業株式会社

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