特許

J-GLOBAL ID：201503007131582100

感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物

発明者： 大澤 壮祐 ,  森野 一英 ,  須藤 篤 ,  遠藤 剛 ,  佐藤 光央 ,  松田 恭彦 ,  永井 智樹 ,  下川 努
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 天野 一規
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013055570
公開番号（公開出願番号）：WO2013-129623
出願日： 2013年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月06日
要約：

本発明は、ビスラクトン構造を含む構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物である。上記ビスラクトン構造は、下記式(a)で表されることが好ましい。下記式(a)中、R2〜R6は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜10の1価の炭化水素基である。上記構造単位は、下記式(1)で表されることが好ましい。下記式(1)中、R1は、水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基又はヒドロキシメチル基である。Yは、単結合又は2価の連結基である。

請求項（抜粋）：

ビスラクトン構造を含む構造単位を有する重合体、及び 感放射線性酸発生体 を含有する感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 ,  C08F 20/28 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/039 601 ,  C08F20/28 ,  H01L21/30 502R

Fターム (44件)：

2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AH14 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH23 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM91P ,  2H125AM94P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL74P ,  4J100BA03P ,  4J100BA11P ,  4J100BA51P ,  4J100BA58P ,  4J100BC02Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12Q ,  4J100BC53P ,  4J100CA03 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100DA22 ,  4J100DA25 ,  4J100JA38