超音波センサー素子及びその製造方法並びに超音波センサー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上柳雅誉 , 渡辺和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-262139
公開番号（公開出願番号）：特開2015-118028
出願日： 2013年12月19日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
要約：

【課題】高分解能を有する新規な超音波センサー素子を提供する。【解決手段】開口部11が形成された基板12と、開口部11を塞ぐように基板12に設けられた振動板13と、振動板13の開口部11とは反対側に積層された第1電極14、圧電体層15及び第2電極16からなる圧電素子17と、を具備し、圧電素子17を含む領域が封止板22によって包囲されており、封止板22の圧電素子17に対向する面に凹部23が形成されていることを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

開口部が形成された基板と、前記開口部を塞ぐように前記基板に設けられた振動板と、前記振動板の前記開口部とは反対側に積層された第1電極、圧電体層及び第2電極からなる圧電素子と、を具備し、前記圧電素子を含む領域が封止板によって包囲されており、前記封止板の前記圧電素子に対向する面に凹部が形成されていることを特徴とする超音波センサー素子。

IPC (5件)：

G01S 7/521 , H01L 41/113 , H01L 41/053 , H01L 41/09 , B41J 2/01

FI (5件)：

G01S7/521 A , H01L41/113 , H01L41/053 , H01L41/09 , B41J3/04 101Z

Fターム (14件)：

2C056EB34 , 2C056KD06 , 5J083AA02 , 5J083AB12 , 5J083AB17 , 5J083AC12 , 5J083AC18 , 5J083AC28 , 5J083AC29 , 5J083CA20 , 5J083CA35 , 5J083CA38 , 5J083CB03 , 5J083CB18

引用特許：

出願人引用 (5件)

超音波トランスジューサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-200965 出願人：株式会社村田製作所
入力装置及び電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-004774 出願人：セイコーエプソン株式会社
超音波プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-090078 出願人：株式会社東芝, 東芝メディカルシステムズ株式会社

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審査官引用 (5件)

超音波トランスジューサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-200965 出願人：株式会社村田製作所
入力装置及び電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-004774 出願人：セイコーエプソン株式会社
超音波プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-090078 出願人：株式会社東芝, 東芝メディカルシステムズ株式会社

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