半導体計測装置及びコンピュータープログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：井上学 , 戸田裕二 , 岩崎重美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-029055
公開番号（公開出願番号）：特開2013-167448
特許番号：特許第5809997号
出願日： 2012年02月14日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基準パターンのエッジの異なる位置の複数の計測点と、電子デバイスの回路パターンの前記複数の計測点に対応する複数の対応点との間の寸法を計測する半導体計測装置において、所定の計測領域内に存在する前記回路パターンと前記基準パターンの間隔を計測し、前記計測領域内の複数箇所の計測値からなる第一の計測値群から、前記計測点に対する対応点の方向に応じて、第二の計測値群を選択し、前記第二の計測値群に基づいて前記基準パターンと回路パターンとの間の寸法を求める演算装置を備えたことを特徴とする半導体計測装置。

IPC (2件)：